密相输送是气流输送固体粉粒体输送物料的过程,如果管线中颗粒流的密度接近于临界流化状态下的床层密度,则称为密相输送密相渝送所需要的气体流量小,一般单位质量的空气所输" />

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PD-300C小型磁控溅射设备
产品摘要
该系统适用于实验室制备金属单质、氧化物、介电质、半导体膜、扫描电镜制样电极材料制备等,也可用作教学及生产线前期工艺试验等,整套设备操作简便,综合功能多,扩展空间大,适合及满足大专院校的教学与科研工作。
产品介绍

设备特点:

★设备采用共焦溅射结构,靶枪高度、角度可以调节

★工艺气体从真空室抽气口前部通入靶面,抽气口位于真空室侧部,保证整个真空室内反应气体浓度稳定一致

★西门子PLC+触摸屏手自动控制或电脑+PLC全自动控制可选

设备参数:

腔体尺寸(L×W×Hmm):300×300×380

设备尺寸(L×W×Hmm):550×900×1850

基片台:衬底最高加热温度500℃,室温至200度精度±3℃,300度至500度精度±1.5℃样品台可加负偏压-800V

真空极限:(5E﹣05)Pa

★抽速保压:(8E﹣04)Pa≤30min保压12小时≤8pa     

★托盘均匀性优于±3%~±5%

溅射靶枪两个(2-3英寸)溅射尺寸2-4英寸


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