密相输送是气流输送固体粉粒体输送物料的过程,如果管线中颗粒流的密度接近于临界流化状态下的床层密度,则称为密相输送密相渝送所需要的气体流量小,一般单位质量的空气所输" />

必赢·体育(bwin)官方网站

全国咨询热线:027-81293223
必赢体育
PD-5000C磁控溅射镀膜设备
产品摘要
该设备可用于Ti、Cu、Ni等各种金属膜及介电薄膜、氧化物薄膜的大面积连续制备,可在工件上制作单面或双面的单层膜和多层膜。系统非常适合制备高均匀性、高重复性的薄膜材料以及产业化。
产品介绍

设备特点:

★结构设计紧凑,布局合理;合理利用空间且方便检修。

★设备配备小车进料出料,方便快捷,节省镀膜生产时间。

★样品架移动加偏压设计,提高膜层结合力。

★双轨道设计稳定可靠,即使在高温环境下小车各室传递及运动也能平稳匀速,从而保证薄膜质量。

设备参数:

★真空室(三/五腔室)(L×W×Hmm):2600x2200x450mm

★真空极限:(2E﹣04)Pa

★溅射靶:800×120×7mm  2-4支根据实际需要选择配备

★样品加热:加热温度≥300℃,控制精度±1度,均匀性±5°

★有效溅射面积:670mm×80mm


在线客服
联系方式

热线电话

15308651978

上班时间

周一到周五

公司电话

15308651979

二维码
线
XML 地图