密相输送是气流输送固体粉粒体输送物料的过程,如果管线中颗粒流的密度接近于临界流化状态下的床层密度,则称为密相输送密相渝送所需要的气体流量小,一般单位质量的空气所输" />

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PD-300高真空蒸发蒸镀设备
产品摘要
该系统采用大抽速分子泵准无油高真空系统,真空机电一体化设计占地小节省实验室空间,金属蒸发源与有机蒸发源可兼容,性价比高,操控简便。广泛应用于科研院所、实验室蒸镀电极、扫描电镜制样,以及OLED、太阳能电池研究。
产品介绍

设备特点:

★广泛应用于蒸发金、银等贵金属材料的电极制备,适合半导体剥离工艺,节省蒸镀材料

★系统配置上配备了脂润滑无油分子泵可任意角度安装,缩短抽气管道提高了抽速,节约样品制备时间

★可升级不停泵放气功能,可实现全自动控制功能

设备参数:

腔体尺寸(L×W×Hmm):300×300×400

设备尺寸(L×W×Hmm):500×750×1800

真空极限:优于(5E﹣05)Pa

抽速保压:(8E﹣04)≤30min保压12小时≤5pa

★膜厚均匀性优异(±3%~±5%),重复性优异(±3%~±5%)

★基片台100mm×100mm

蒸发源:可搭配2~4组蒸发源(兼容金属与有机),可共蒸或切换蒸发


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