密相输送是气流输送固体粉粒体输送物料的过程,如果管线中颗粒流的密度接近于临界流化状态下的床层密度,则称为密相输送密相渝送所需要的气体流量小,一般单位质量的空气所输" />

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PD-500/600电子束真空蒸镀设备
产品摘要
该系列设备为钙钛矿太阳能电池、OLED、锂电池、量子点LED、OPV等产业研发镀膜专用设备,设备可蒸发镀金、银、钛、铬、钼、SIO2 ITO AZO 氧化镍等材料。系统可集成电阻电子束、电阻蒸发、有机蒸发对接手套箱系统实现旋涂、镀膜、测试等工艺流程在无水无氧手套箱环境下进行。
产品介绍

设备特点:

★进口双导轨前滑动开门节省手套箱空间

约实验室场地不占用手套箱以外空间

★西门子PLC+触摸屏手自动控制或电脑控制可选,完善的逻辑程序互锁保护及异常报警

★可搭配离子源进行表面清洁和离子辅助蒸镀,也可搭配电阻蒸发源使用

行星式工件架,公转+自转/穹顶式/自动翻面/平板式工件架可选,转速可调

设备参数:

腔体尺寸(L×W×Hmm):500×500×600mm/600×650×800mm

真空极限:优于(3E﹣05)Pa

抽速保压:(8E﹣04)≤30min保压12小时≤5pa

★膜厚均匀性优异(±3%~±5%),重复性优异(±3%~±5%)

★基片台≤150mm×150mm/200mm×200mm

蒸发源:8-10KW电子枪4-8坩埚可选;可同时兼容2-4组电阻蒸发或有机束源炉



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