密相输送是气流输送固体粉粒体输送物料的过程,如果管线中颗粒流的密度接近于临界流化状态下的床层密度,则称为密相输送密相渝送所需要的气体流量小,一般单位质量的空气所输" />

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PD-500S/800S高真空蒸发蒸镀设备
产品摘要
该设备可蒸发镀金、银、钛、铬、钼、S1O2/ITO/AZO/氧化镍等材料。兼容电子束后可蒸发高熔点材料如氧化硅、氧化铝、氧化钛、氧化铪等。系统可集成电阻电子束、电阻蒸发、有机蒸发对接手套箱系统实现旋涂、镀膜、测试等工艺流程在无水无氧手套箱环境下进行。
产品介绍

设备特点:

★机械泵前加装过滤网,抽气口加装过滤网、百叶窗等防护件,气路设计避免扬尘

西门子PLC+触摸屏手自动控制或电脑控制可选,完善的逻辑程序互锁保护及异常报警

★自动控制蒸发源输出,可选配共蒸发制备工艺

设备参数:

腔体尺寸(L×W×Hmm):500×500×600/800×700×700

设备尺寸(L×W×Hmm):1200×950×2000/1850×870×2100

真空极限:优于(3E﹣05)Pa

抽速保压:(8E﹣04)≤20min保压12小时≤5pa

★膜厚均匀性优异(±3%~±5%),重复性优异(±3%~±5%)

★基片台210mm×210mm/350mm×350mm

蒸发源:可搭配4~8组蒸发源(兼容金属与有机),可共蒸或切换蒸发,可与电子束进行对接


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