密相输送是气流输送固体粉粒体输送物料的过程,如果管线中颗粒流的密度接近于临界流化状态下的床层密度,则称为密相输送密相渝送所需要的气体流量小,一般单位质量的空气所输" />

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PD-60/80MP微波等离子体化学气相沉积设备
产品摘要
微波等离子体化学气相沉积设备具有性能先进、功能完善、结构合理,使用方便、安全可靠、外形美观,特别适合应用于单晶和多晶金刚石膜、类金刚膜的化学汽相沉积(CVD);材料表面处理和改性;低温氧化物的生长等领域。
产品介绍

设备特点:

★微波系统微波频率2450±25MHz 微波泄漏≤2 mw/cm²

★真空系统工作气压范围0~250Torr,自动稳压范围40~250Torr

★气路系统自带四路MFC,可扩展至六路

★自带缺水,缺气,电源缺相,等离子体偏移,过温过载,打火等自动保护,生产流程通过工艺配方自动控制,全自动温度控制,气压控制等

★软件配置西门子PLC+10寸西门子触摸显示屏,所有操作均可在触摸屏上完成

设备参数:

★输出功率0.6kw~6kw /0.6kw~15kw 连续可调

★生长台:沉积台为80mm,高度为110mm/沉积台为100mm,高度为110mm

★基片台:电动升降式水冷直径80mm钼基片台直径≥50mm/电动升降式水冷直径100mm钼基片台直径≥75mm


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