密相输送是气流输送固体粉粒体输送物料的过程,如果管线中颗粒流的密度接近于临界流化状态下的床层密度,则称为密相输送密相渝送所需要的气体流量小,一般单位质量的空气所输" />

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PD-450/600H热丝化学气相沉积设备
产品摘要
该设备采用热丝法化学气相沉积技术,主要用来生长金刚石膜、类金刚石膜、氮化硅和氧化硅膜等。该设备适合于小批量生长大尺寸片状多晶金刚石厚膜、刀具表面生长金刚石膜、纳米金刚石膜等。
产品介绍

设备特点:

★升降结构平稳,样品台水平度好,利于生长较均匀厚膜丝架采用特殊结构,热丝的平行度好能长期稳定工作

★更合理的气路布局及更贴合生产工艺的细节考虑,可长期稳定工作

★软件配置西门子PLC+10寸西门子触摸显示屏,操作界面友好,所有操作均可在触摸屏上完成

★实现φ100-300mm基片范围内均匀沉积

设备参数:

腔体尺寸:φ450×H350mm/φ650×H500mm

基片台:150mmx150mm/200mmx200mm

温度:热丝温度1800℃-2500℃衬底温度600℃-1000℃,电源型式专用热丝电源15/25kw


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