密相输送是气流输送固体粉粒体输送物料的过程,如果管线中颗粒流的密度接近于临界流化状态下的床层密度,则称为密相输送密相渝送所需要的气体流量小,一般单位质量的空气所输" />

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PD-600Q等离子清洗机
产品摘要
等离子清洗是一种轻微的刻蚀,等离子体的表面清洗能很快去除金属表面的油脂、油污等有机物和氧化层,在进行溅射、油漆、粘合、键合、焊接、铜焊、PVD、VCD和涂覆前,用等离子处理能得到完全的洁净和无氧化层的表面。
产品介绍

整机外形尺寸:L1000×W750×H1600(mm)

反应腔尺寸:520×520×H600(mm),约150L

清洁尺寸:500×500mm

射频电源:13.56MHz,600W

气体流量控制:1-2路质量流量控制器(0~500SCCM)

工作气体:氧、氩气,另提供一路氮气用于冷却样品(高纯,用户自备)

压缩空气:接口压力大于0.5MPa(用户自备)

真空抽气及测量系统:配备一台8L机械泵,抽气管道采用不锈钢真空波纹管,

控制方式:采用10寸触摸屏+PLC组成的人机界面控制方式,操作方式包括手动模式或自动模式,在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理,可同时存储100组不同配方。使用时只需将相应配方号调出即可。


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