密相输送是气流输送固体粉粒体输送物料的过程,如果管线中颗粒流的密度接近于临界流化状态下的床层密度,则称为密相输送密相渝送所需要的气体流量小,一般单位质量的空气所输" />

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PECVD管式炉
产品摘要
该设备是由滑动开启式真空管式炉,混气系统,真空及压力系统等组成。烧结温度可达到1200°,通过滑动炉体来实现快速升降温,可以通过配置不同的真空系统来达到理想的真空度,同时可以通过多路高精度质量流量计来控制不同的气体。
产品介绍

炉体结构:日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好,支撑两端安装油压缓冲器炉盖可开启,可以实时观察加热的物料

电源:AC220V,50/60HZ 功率:4KW

炉管:高纯石英管尺寸:φ 40/60/80/100*1200mm

加热系统:加热区长度440MM 恒温区长度200mm 工作温度≤1150° 最高温度1200° 升温速率10°/min

温控系统:温度控制采用人工智能调节技术具有PID调节,自整定功能30段升降温程序

混气系统:多路质量流量计数字显示气体流量自动控制。流量规格:0-1SLM 流量精度±1.5%

★真空度:真空度可达(5E﹣01)torr

★可选配件:混气系统中、高真空系统,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件,氧含量分析仪等


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