浏览量:次
产品概述:
该系列设备为钙钛矿太阳能电池、OLED、锂电池、金属电极薄膜等产业研发专用设备;采用先进镀膜机和手套箱对接技术,广泛应用于高校、科研院所高活性材料薄膜制备研究。也可用于生产线前期工艺试验等。
名称 | PD-400S太阳能电池行业镀膜设备 |
真空室 | 400×400×H460mm;不锈钢方箱式前、后开门结构; |
可以独立使用,也可根据客户要求与手套箱对接。 | |
真空系统 | 分子泵+机械泵 |
极限真空 | 优于10-5Pa |
恢复真空时间 | 达到9×10-4Pa≤20min |
金属蒸发源 | 2—4组蒸发源,可选 |
有机蒸发源 | 束源炉式有机蒸发源自带控温0-700℃可调,一体化挡板可调角度(0-15°),3—4组蒸发源,可选; |
电控系统 | 手动按钮继电器控制,完善的逻辑程序互锁保护及异常报警; |
选配 | 冷却循环水机/膜厚监控仪/基片台加热或水冷/掩膜板mask/蒸发电源/钨舟钼舟 |
设备配电 | 电压: 380V |
功率:≤6.5KW | |
设备尺寸 | 长×宽: 1350mm×900mm |
型号推介 | 所有配置均为国产一线品牌,性能稳定可靠 |